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一種四極桿質譜儀真空測量及控制系統的測試結果

來源:真空技術網(www.sakcw.tw)鋼研納克檢測技術有限公司 作者:李凱

  以四極桿質譜儀真空測量及控制系統應用在鋼研納克檢測技術有限公司的PlasmaMS 300 儀器為例。在儀器不同的工作狀態時,對接口單元、透鏡單元和四極桿單元的真空進行了測量,軟件界面如圖8 和圖9 所示。

一種四極桿質譜儀真空測量及控制系統的測試結果

圖8 真空待機狀態下各部分真空顯示

  圖8 為儀器真空待機狀態時,接口單元、透鏡單元和四極桿單元的真空值顯示。

一種四極桿質譜儀真空測量及控制系統的測試結果

圖9 真空就緒狀態下各部分真空顯示

  圖9 為真空就緒狀態時,接口單元、透鏡單元和四極桿單元的真空值顯示。其中a 部分為儀器工作狀態,b 部分為真空系統的真空值。

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