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多功能真空校準裝置的主要性能指標

來源:真空技術網(www.sakcw.tw)上海衛星裝備研究所 作者:彭光東

1、極限真空度

  高真空校準室極限真空度9.3×10-8 Pa,下游室極限真空度1.1×10-8 Pa,低真空校準穩壓室極限真空度4.2×10-7 Pa。

2、校準真空室動態真空度穩定性能

  根據相關國家標準對本裝置校準范圍內的校準室在進行動態比對校準時的真空度穩定性能進行檢測,從133kPa~9.5×10-5 Pa 范圍內選擇20 個壓力點,每個檢測點停留5 分鐘,測試結果表明在133kPa~9.5×10-2 Pa 范圍內,穩定度可控制在2%以內, 在9×10-2 Pa~9.5×10-5 Pa 范圍內,穩定度可控制在1%以內。

3、系統不確定度分析

  綜合考慮GP370 離子規的不確定度指標和校準裝置的固有特性,系統裝置標準不確定度為4.2%,數據處理引入的不確定度為0.5%,整個裝置的合成不確定度為4.3%, 擴展不確定度為8.6%。

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